當前位置:首頁|HLB大型板材管材真空鍍膜機

工作原理
應用范圍
產(chǎn)品特點
技術參數(shù)表
| HLB系列大型板材管材真空鍍膜機 | |||||||
| 型號 | HLB-1800 | HLB-2000 | HLB-3000 | HLW-2000 | HLW3000 | HLW-4000 | HLW-5000 |
| 真空室尺寸 | Φ1800×2000MM | Φ2000×2000MM | Φ3000×3000MM | Φ2000×6000MM | Φ3000×6000MM | Φ4000×8000MM | Φ5000×10000MM |
| 真空機組 | 雙KT800擴散泵機組 | 雙KT1000擴散泵機組 | 雙KT1000擴散泵機組*2套 | 雙KT1000擴散泵機組 | 雙KT1000擴散泵機組*2套 | 雙KT1000擴散泵機組*2套 | 雙KT1000擴散泵機組*4套 |
| 鍍膜系統(tǒng) | 專用多弧鍍膜電源+多功能孿生磁環(huán)弧靶+柱形弧靶(可選配) | ||||||
| 輔助鍍膜系統(tǒng) | 低溫離子輔助源(除工具鍍外無需加溫系統(tǒng)) | ||||||
| 充氣系統(tǒng) | 質量流量計 | ||||||
| 控制方式 | 手動或全自動 | ||||||
| 抽氣速率 | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min |
| 極限真空 | 5.0X10-4Pa | 5.0X10-4Pa | 5.0X10-4Pa | 5.0X10-4Pa | 5.0X10-4Pa | 5.0X10-4Pa | 5.0X10-4Pa |
| 備注 | 以上設備參數(shù)僅做參考,具體均按客戶實際工藝要求設計訂做 | ||||||